在线av 乱伦 氮气响应溅射制备Co/Sb多层膜酌量
引 言 在线av 乱伦
在电磁波谱中，软X射线波段介于极紫外和硬X射线之间，光子能量处于几百至几千电子伏特，猛烈常罕见和进犯的波段。在该波段，整个材料的折射率齐同样即是1，并且齐存在一定的摄取，这意味着光在介质中真实不发生折射气候。其中的“水窗”(E=280～540 eV)波段尤为进犯，水(其中的氧)基本上是透明的，而碳(人命物资中大部分构成元素)却有很强的摄取[1]。用该波段的软X射线动作信息载体，不错在很好对比度条目下对生物样品全息摄影，对活体细胞显微成像[2]，也可动作等离子体会诊的光源[3， 4]。然则，在水窗波段，任何单层膜的正入射反射率齐相配低，通过菲涅耳公式揣测反射率仅在10-4量级，光显不成骄横反射式光学元件的需求。为进步软X射线波段光学薄膜的正入射反射率，Spiller提议，由终止层和摄取层轮换构成的多层膜结构，应用多个膜层上反射光的相关重复，能进步极紫外与软X射线波段的正入射反射率[5]，极地面鼓吹了多层膜反射镜向短波的发展。
在水窗波段，C、Ti、Sc、V是相比常见的多层膜终止层，频年来，国表里有许多对于水窗波段多层膜反射镜的酌量报导，其中Cr/Sc[6]、Cr/C[7]多层膜近正入射反射率如故不错作念到14.5%、7.5%，然则Cr/Ti[8]、Ni/V[9]多层膜近正入射反射率测试恶果仅为3%傍边，均与表面反射率差距很大，原因是该波所长高反射多层膜中每层膜的厚度只略大于1 nm，即使很小的界面鄙俚度齐会严重影响高反射多层膜的反射性能，因此，镌汰界面鄙俚度，进步成膜质地，研制高反射率的多层膜反射镜是软X射线光学酌量的进犯内容。改善多层膜界面性能的智商有许多，比如:插入终止层、响应溅射等。2011年Guen等在制备Mg/Co多层膜中，在Co-on-Mg界面插入终止层Zr层，有用地进步了反射率[10]。2008年Ghafoor等在 “水窗”波段制备Cr/Sc多层膜反射镜时，给与氩气和氮气的夹杂气体动作溅射气体，在未达到迷漫周期数的情况下10°度近正入射反射率从5.3%进步到11.5%[11]。2009年Bellotti等在制备Co/C多层膜流程中，在氩气中混入9%的氮气动作响应气体，在掠入射X射线反射(XRR)测试弧线中光显看出，在周期厚度1.81～17.60 nm齐有光显的布拉格峰，通过透射电子显微镜与未加响应溅射的样品进行对比，鄙俚度有很大改善，界面变得愈加平滑[12]。因此氮气响应溅射工艺不错改善多层膜成膜质地，进步反射率。
Sb的M5摄取边在525.5 eV，处于“水窗”波段，可动作多层膜反射镜的终止层。本文最初对Sb摄取边隔邻的多层膜材料组合进行聘请，进而对多层膜的膜紧缚构进行优化打算，揣测分析了不同界面鄙俚度条目下的反射率变化，通过转变在职责气体中混入的氮气浓度，给与直流磁控溅射本领制备了一组周期厚度左右的周期多层膜。通过X射线衍射分析了样品的膜层厚度及界面鄙俚度，在BSRF北京同步辐照实验室测量了样品反射率，对测试恶果进行相比和分析。
1 材料聘请与反射率揣测
周期多层膜是在超光滑基片上周期性轮换镀制两种不同材料的薄膜动作散射层与终止层，应用入射软X 射线在膜层内各个界面的相关反射迭加，杀青对入射软X 射线的高反射。凭据表面揣测与履行应用在线av 乱伦，多层膜的材料聘请原则为:(1)两种材料的折射率差尽可能大;(2)两种材料在职责波段的摄取尽可能小。在Sb的M5摄取边525.5 eV作念材料的选材图如图 1所示，折射率n和摄取整个k开头于好意思国伯克利国度实验室X射线光学中心网站[13]。
图 1 Sb M5摄取边n-k图